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HYDROGEN-BOND-BASED LATERAL INTER-MOLECULAR EFFECT ON SURFACE-STRESS GENERATION FOR CANTILEVER SENSO
  • 所属机构名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称:24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
  • 时间:2011
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:微纳流控系统跨尺度兼容一体化集成制造基础研究
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