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op-down batch-fabricating bottom-up self-assembles for region-selective multi-functionalization of m
  • 所属机构名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称:IEEE International Conference onSolid-State Sensors, Actuators and Microsystems(Transducers 2013)
  • 时间:2013
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:微纳流控系统跨尺度兼容一体化集成制造基础研究
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