Resonant cantilevers with nanoparticles-spaced functional graphene-oxide sheets for high-performance
- 所属机构名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 会议名称:IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013
- 时间:2013
- 成果类型:会议
- 相关项目:微纳流控系统跨尺度兼容一体化集成制造基础研究