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Thermal UV treatment on SU-8 polymer for integrated optics
  • ISSN号:2159-3930
  • 期刊名称:Optical Materials Express
  • 时间:2014.3.1
  • 页码:509-517
  • 相关项目:有机/无机杂化材料高速电光开关及其集成技术研究
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