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FABRICATION OF SU-8 BASED ELECTRO-OPTIC SWITCH USING ALL-WET ETCHING TECHNIQUE
  • ISSN号:0217-9849
  • 期刊名称:Modern Physics Letters B
  • 时间:2013.2
  • 页码:1350024-
  • 相关项目:有机/无机杂化材料高速电光开关及其集成技术研究
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