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石墨烯上生长GaN纳米线
  • ISSN号:1003-353X
  • 期刊名称:《半导体技术》
  • 时间:0
  • 分类:TN304.23[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]南京大学电子科学与工程学院,南京210093, [2]南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210046
  • 相关基金:国家重点基础研究发展计划资助项目(2016YFB0400100,2016YFB0400602);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2015AA033305);国家自然科学基金资助项目(61274003,61400401,51461135002,61334009);江苏省自然科学基金资助项目(BY2013077,BK20141320,BE2015111);固态照明与节能电子学协会创新中心资助项目;国家级大学生创新创业训练计划资助项目(G201610284023);江苏高校优势学科建设工程资助项目;国网山东电力公司技术开发基金资助项目
中文摘要:

采用金属Ga升华法在石墨烯/蓝宝石衬底上生长了高质量GaN纳米线,研究了不同的生长条件,如NH_3流量、反应时间、催化剂和缓冲层等对GaN纳米线形貌的影响,采用扫描电子显微镜(SEM)对GaN纳米线进行表征。研究发现,在适当的NH_3流量且无催化剂时,衬底上可以生长出粗细均匀的GaN纳米线。反应时间为5 min时,纳米线密集分布在衬底上,表面光滑。在石墨烯/蓝宝石上预先低温生长GaN缓冲层,然后升温至1 100℃进行GaN纳米线生长,获得了具有择优取向的GaN纳米线结构。研究表明,石墨烯和缓冲层对获得GaN纳米线结构有序阵列具有重要的作用。

英文摘要:

High-quality GaN nanowires were grown on graphene/sapphire substrates by metallic gallium sublimation method. The effects of different growth conditions on the morphology of GaN nanowires were investigated, such as the NH3 flow rate, the reaction time, the catalyst and the buffer layer. The GaN nanowires were characterized by the scanning electron microscopy (SEM). The results show that GaN nanowires with uniform diameter can be grown on the graphene/sapphire substrate without catalyst with the proper NH3 flow rate. And the smooth GaN nanowires are densely distributed on the substrate when the reaction time is 5 min. The GaN buffer layer was grown on the surface of graphene/sapphire at a low temperature and then heated up to 1 100 ℃ for the growth of GaN nanowires, in order to obtain a nanowire structures with preferential orientation. The results show that the graphene and buffer layer play important roles in obtaining ordered arrays of GaN nanowire structures.

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期刊信息
  • 《半导体技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编:赵小玲
  • 地址:石家庄179信箱46分箱
  • 邮编:050051
  • 邮箱:informax@heinfo.net
  • 电话:0311-87091339
  • 国际标准刊号:ISSN:1003-353X
  • 国内统一刊号:ISSN:13-1109/TN
  • 邮发代号:18-65
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6070