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Study of dynamic characteristics of resonators for MEMS resonant vibratory gyroscopes.
  • ISSN号:0946-7076
  • 期刊名称:Microsystem Technologies
  • 时间:2012.5.20
  • 页码:639-647
  • 相关项目:导航制导与传感——先进惯性仪表与系统技术
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