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Design and FEM simulation study of the electro-thermal excitation resonant beam with slit-structure
  • ISSN号:0946-7076
  • 期刊名称:Microsystem Technologies
  • 时间:2013
  • 页码:979-987
  • 相关项目:导航制导与传感——先进惯性仪表与系统技术
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