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The effect of substrate bias on titanium carbide /amorphous carbon nanocomposite films deposited by
  • 期刊名称：Nuclear Instruments and Methods in Physics Researc
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  • 相关项目：压应力诱导亚稳结构过渡金属氮化物薄膜的离子束制备研究
作者： Xu Zhang, Hong Liang, Zhenglong Wu, Xiangying Wu|
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压应力诱导亚稳结构过渡金属氮化物薄膜的离子束制备研究
期刊论文 14
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