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Synthesis and characterization of zirconium oxynitride coatings deposited by 6 filtered cathodic vac
  • ISSN号:0257-8972
  • 期刊名称:Surface and Coatings Technology
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  • 相关项目:压应力诱导亚稳结构过渡金属氮化物薄膜的离子束制备研究
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