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Surface Quality Improvement of Atmospheric Pressure Plasma Polishing (APPP) in Machining of Silicon
  • ISSN号:1881-3054
  • 期刊名称:Journal of Advanced Mechanical Design Systems and
  • 时间:2012.4
  • 页码:464-471
  • 相关项目:自由曲面光学零件的大气等离子体射流加工技术基础研究
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