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电子束蒸发制备织构状纳米ZnO∶Al及其光电性能研究
  • ISSN号：1001-9731
  • 期刊名称：《功能材料》
  • 时间：0
  • 分类：TB3[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：上海理工大学理学院,上海200093
  • 相关基金：上海市教委重点创新资助项目（14ZZ137）;沪江基金资助项目（B14004）;上海理工大学国家级项目培育基金资助项目（14XPM04）
作者： 王丽军, 孙义清, 李剑, 王小平
关键词： 掺铝ZnO, 电子束蒸发沉积, 透明导电薄膜
中文摘要：

采用真空电子束蒸发沉积设备在不同温度下（350-400 ℃）直接在玻璃基底上一次性生长400nm厚的织构状纳米掺铝ZnO 薄膜.研究了不同的基底温度对掺铝ZnO 薄膜的结构、电学性质以及光学性质的影响. 研究发现,其光学透过率在390-1100nm的整个波段都超过87%,在580-1100nm光谱范围内光学透过率超过93%. 当沉积温度为380℃时,掺铝ZnO 薄膜的电阻率最低,其值可达1.2×10^-4 Ω·cm.

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期刊信息
  • 《功能材料》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:重庆材料研究院
  • 主办单位:重庆材料研究院
  • 主编：黄伯云
  • 地址：重庆北碚区蔡家工业园嘉德大道8号
  • 邮编：400707
  • 邮箱：gnclwb@126.com
  • 电话：023-68264739
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-9731
  • 国内统一刊号：ISSN：50-1099/TH
  • 邮发代号:78-6
  • 获奖情况:
  • 2008、2011年连续获中国精品科技期刊,2010获重庆市双十佳期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:30166