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Controlled activation of iridium film for AIROF microelectrodes
  • ISSN号:0925-4005
  • 期刊名称:Sensors and Actuators B: Chemical
  • 时间:2014.1.1
  • 页码:601-611
  • 相关项目:基于超声供能的共振式可植入MEMS微能源研究
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