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Hollow metallic microneedles fabricated by combining bulk silicon micromachining and UV-LIGA technol
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：2012.1.1
  • 页码：37-42
  • 相关项目：基于超声供能的共振式可植入MEMS微能源研究
作者： Yan, Xiao-Xiao|Liu, Jing-Quan|Shen, Xiu-Cheng|Yang, Chun-Sheng|
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