中文摘要：

随着可植入微机电系统（MEMS）研究的迅速发展，植入体内微器件的供源成为决定器件使用寿命的关键，其电源要安全、体积小、寿命长、无电磁干扰、甚至无需更换等。传统的供能方式不能满足这一要求。通过超声向体内供能是有效解决这一瓶颈问题的一种新方法。本项目提出一种基于超声供能的共振式可植入MEMS微能源。通过体外超声振子向体内发射超声，体内采用微压电悬臂梁结构以共振的方式采集发射到体内的超声能量，利用压电效应将振动能转换为电能，并对体内的储能元件进行充电，以解决植入器件因电源供能不足而降低使用寿命这一难题。通过理论分析、优化设计、MEMS工艺制备和封装的探讨和改进，解决该微能源技术中理论分析和制备的关键问题，以提高其输出能力，制备出样机并测试其性能。为研制用于植入体内微器件长期供能的微能源打基础。

结论摘要：

随着可植入微机电系统（MEMS）研究的迅速发展，植入体内微器件的供源成为决定器件使用寿命的关键，其电源要安全、体积小、寿命长、无电磁干扰、甚至无需更换等。传统的供能方式不能满足这一要求。通过超声向体内供能是有效解决这一瓶颈问题的一种新方法。本项目提出一种基于超声供能的共振式可植入MEMS 微能源。通过体外超声振子向体内发射超声，体内采用压电能量采集器以共振的方式采集发射到体内的超声能量，利用压电效应将振动能转换为电能，并对体内的储能元件进行充电，以解决植入器件因电源供能不足而降低使用寿命这一难题。通过理论分析、优化设计、MEMS工艺制备和封装的探讨和改进，解决该微能源技术中理论分析和制备的关键问题，以提高其输出能力，制备出样机并测试其性能。为研制用于植入体内微器件长期供能的微能源打基础。在项目执行期内发表论文6 篇，申请专利6项，授权专利2项，培养研究士生3名。