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Piezoelectric MEMS generator based on the bulk PZT/silicon wafer bonding technique
  • ISSN号：1862-6300
  • 期刊名称：PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS
  • 时间：2011.12.12
  • 页码：2913-2919
  • 相关项目：基于超声供能的共振式可植入MEMS微能源研究
作者： Tang, Gang|Liu, Jing-quan|Liu, He-sheng|Li, Yi-gui|Yang, Chun-sheng|He, Dan-nong|DzungDao, Viet|Tanaka, Katsuhiko|Sugiyama, Susumu|
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