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塑料超声波焊接及其用于聚合物MEMS器件键合的研究进展
  • ISSN号：1001-1382
  • 期刊名称：焊接
  • 时间：0
  • 页码：9-15
  • 语言：中文
  • 分类：TG453.9[金属学及工艺—焊接]
  • 作者机构：[1]大连理工大学,116023
  • 相关基金：国家自然科学基金资助（50775024）;新世纪优秀人才支持计划资助（NCET-06-0279）
  • 相关项目：聚合物微器件超声波非熔融联接机理与方法研究
作者： 王晓东|罗怡|张宗波|王立鼎|
关键词： 塑料超声波焊接, 超声波键合, 微流控芯片, 聚合物微器件
中文摘要：

为了解决当前聚合物MEMS器件键合技术中存在的问题，将塑料超声波焊接技术引入聚合物微器件键合领域，从而形成了一种新的MEMS键合工艺——超声波键合。目前广泛应用于聚合物加工的塑料超声波焊接技术具有不需要焊剂和外部热源、对焊件破坏轻、焊接时间短、焊接影响区域小等优点，超声波聚合物MEMS器件键合是塑料超声波焊接技术从宏观器件到微观器件的一次应用范围上的拓宽。简述了塑料超声波焊接和MEMS器件超声波键合技术的国内外研究发展现状。采用MEMS加工工艺制作了带有键合接头的PMMA微流控芯片，并利用超声波塑料焊接机实现了高强度密封键合试验。然而，与宏观器件的焊接相比超声波MEMS键合存在着因结构微型化而产生的特殊技术问题，文章对这些问题进行了讨论。

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期刊信息
  • 《焊接》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国机械工业联合会
  • 主办单位:机械科学研究院哈尔滨焊接研究所 中国机械工程学会焊接学会 机械工业部哈尔滨焊接研究所
  • 主编：朱琦
  • 地址：哈尔滨市松北区创新路2077号
  • 邮编：150028
  • 邮箱：HJZZS@sohu.com
  • 电话：0451-86325919
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-1382
  • 国内统一刊号：ISSN：23-1174/TG
  • 邮发代号:14-45
  • 获奖情况:
  • 中国科技论文统计源期刊,全国优秀期刊三等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:6366