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Effects of substrate bias voltage and RF power on the BNcoatings
  • 期刊名称：Surf Coat Technol
  • 时间：0
  • 页码：1999.113(1-2).25
  • 语言：英文
  • 相关项目：立方氮化硼薄膜的织构生长和掺杂特性研究
作者： 陈光华，张兴旺，王波等|
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