位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Preparation of c-BN thin fimm depostied by reavtive supttering
  • 期刊名称：Mater Lett
  • 时间：0
  • 页码：2000.43(3),148-152
  • 语言：英文
  • 相关项目：立方氮化硼薄膜的织构生长和掺杂特性研究
作者： 张兴旺，严辉，陈光华等|
同期刊论文项目
立方氮化硼薄膜的织构生长和掺杂特性研究
期刊论文 16 著作 1
同项目期刊论文
Effects of substrate bias voltage and RF power on the BNcoatings
Optical sbsorption edge characteritstics of cubic boron nitride tthi films
新型半导体薄膜的制备，结构和特性研究
宽带隙立方氮化胡薄膜的制备
薄膜生长的理论模型和Monte Carlo模拟
Ternary BCNthin film eposited by reactiv sputtering
几种新型超硬薄膜的研究进展
Electriacal and optical prpperties of ternary BCN thin films
衬底材料对制备立方氮化硼薄膜的影响
B-C-N系超硬材料的研究进展
氮化碳薄膜的结构与特性
The influebce of compressive stress on the promation of cubic boron nitride thin film
Iinfluence of dc substrate bias voltage on growth of cubic boron nitride folms by radion frequency s