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Ternary BCNthin film eposited by reactiv sputtering
  • 期刊名称：Thin Solid Films
  • 时间：0
  • 页码：2000.375(1-2).247
  • 语言：英文
  • 相关项目：立方氮化硼薄膜的织构生长和掺杂特性研究
作者： 岳金顺，程文娟，陈光华等|
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