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Iinfluence of dc substrate bias voltage on growth of cubic boron nitride folms by radion frequency s
  • 期刊名称：Diamond and Releated Materials
  • 时间：0
  • 页码：2000,9(9-10),1779
  • 语言：英文
  • 相关项目：立方氮化硼薄膜的织构生长和掺杂特性研究
作者： 邓金祥，陈光华|
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