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Cellular Automata model and analysis method of electrostatic-mechanical coupling of MEMS
  • 期刊名称：Journal of Harbin Institute of Technology
  • 时间：0
  • 页码：187-189
  • 语言：英文
  • 相关项目：多物理场工作环境下典型微器件结构的非线性拓扑优化方法
作者： WANG An-lin|YANG Rong|LIU Guang-jun|JIANG Tao|
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多物理场工作环境下典型微器件结构的非线性拓扑优化方法
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