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Characterization of a MEMS accelerometer considering environmental temperature fluctuations
  • 期刊名称：Materials Science Forum
  • 时间：0
  • 页码：801-804
  • 语言：英文
  • 相关项目：多物理场工作环境下典型微器件结构的非线性拓扑优化方法
作者： A.L. Wang|G.J Liu|T. Jiang|Q.K. Jiang|
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