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基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究
  • ISSN号：1004-1699
  • 期刊名称：传感技术学报
  • 时间：0
  • 页码：-
  • 分类：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 作者机构：[1]河北远东通信系统工程有限公司,河北石家庄050081, [2]北京航天控制仪器研究所,北京100096, [3]河北诺亚人力资源开发有限公司,河北石家庄050035, [4]中国电子科技集团公司第54所,河北石家庄050081
  • 相关基金：国家自然科学基金项目（项目编号：61404119）.
  • 相关项目：LTCC微加速度计
作者： 唐小平|卢会湘|严英占|金玉丰|
关键词： LTCC, 基板制造, 微组装, LTCC, Substrate manufacture, Micro-assembly
中文摘要：

LTCC在实现模块／器件轻量化和小型化方面具有优异性能。目前常用生瓷带厚度通常为百微米左右，采用超薄LTCC生瓷带不仅可以实现大容值电容，而且对于进一步缩小组件体积具有重要意义。针对Dupont951-C2超薄层生瓷带（厚度50μm）在基板制造中遇到的若干问题，提出了解决方案，实现了基于超薄LTCC生瓷带的基板制造。

英文摘要：

LTCC technology have excellent performance in the realization of lightweight and miniaturization for devices and modules. 120 microns tape is commonly used. Thinner tape can raise the value of capacitor and reduce the volume of devices and modules. Discussed the manufacturing problems of thin tape, and propose manufacturing technology for ultrathin LTCC substrate.

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期刊信息
  • 《传感技术学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:国家教育部
  • 主办单位:东南大学 中国微米纳米技术学会
  • 主编：黄庆安
  • 地址：南京市四牌楼2号
  • 邮编：210096
  • 邮箱：dzcg-bjb@163.com
  • 电话：025-83794925
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-1699
  • 国内统一刊号：ISSN：32-1322/TN
  • 邮发代号:28-366
  • 获奖情况:
  • 2011-2012年获中国科技论文在线优秀期刊一等奖,2012年获第四届中国高校优秀科技期刊奖,2011年获中国精品科技期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:18030