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Measurement of wireless pressure sensors fabricated in high temperature co-fired ceramic MEMS techno
  • ISSN号：1869-1951
  • 期刊名称：Journal of Zhejiang University-Science C(Computers
  • 时间：2013
  • 页码：258-263
  • 相关项目：基于非接触测量的超高温MEMS压力传感器基础研究
作者： Xiong Jijun|Zheng Shijun|Hong Yingping|Li Jun|Wang Yinglin|Wang Wei|Tan Qiulin|
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