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多波长激光刻蚀多晶硅工艺参数优化
  • ISSN号：1000-372X
  • 期刊名称：应用激光
  • 时间：2013.6.15
  • 页码：318-321
  • 相关项目：界面结合强度激光冲击离散划痕检测与应力匹配特性调控技术基础研究
作者： 韩振春|吕豫文|朱亮|朱宝春|
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期刊信息
  • 《应用激光》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:
  • 主办单位:上海市激光技术研究所
  • 主编：王之江
  • 地址：上海市宜山路770号
  • 邮编：200233
  • 邮箱：yyjg@laser.net.cn
  • 电话：021-64700560-2107 64516313
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-372X
  • 国内统一刊号：ISSN：31-1375/T
  • 邮发代号:4-376
  • 获奖情况:
  • 1996年上海市第二届优秀期刊评比二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:5768