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Feasibility of using sputtered AlOx film as gate insulator for high performance InGaZnO-TFTs
  • ISSN号:0749-6036
  • 期刊名称:Superlattices and Microstructures
  • 时间:2014.10.10
  • 页码:14-21
  • 相关项目:微晶硅TFT-OLED的若干基础问题的研究
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