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Simulation of ion transport in an extended electron cyclotron resonance plasma
  • 期刊名称：J.Appl.phys.
  • 时间：0
  • 页码：2000,87(3)1070-1075
  • 语言：英文
  • 相关项目：微波ECR等离子体工艺中不稳定性的机理研究
作者： Minghai Liu，Hu xiwei, etal|
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