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Simulation on nonlinear behavior in an electron cyclotron resonance plasma
  • 期刊名称:Plasma Science & Technol
  • 时间:0
  • 页码:2000,2(3)265-271
  • 语言:英文
  • 相关项目:微波ECR等离子体工艺中不稳定性的机理研究
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