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Self-consistent simulation of electron cyclotron resonance plasma discharge
  • 期刊名称：Phys.Plasma.
  • 时间：0
  • 页码：2000,7(7)3062-3067
  • 语言：英文
  • 相关项目：微波ECR等离子体工艺中不稳定性的机理研究
作者： Minghai Liu, Hu Xiwei, etal|
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微波ECR等离子体工艺中不稳定性的机理研究
期刊论文 7
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