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反应离子刻蚀的模型及仿真
  • 期刊名称：中国机械工程，Vol.16, 255(2005)
  • 时间：0
  • 相关项目：计算机辅助制造(CAM)
作者： 朱赤，李伟华, 周再发
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计算机辅助制造(CAM)
期刊论文 52 会议论文 13
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