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Package-friendly piezoresistive pressure sensors with on-chip integrated packaging-stress-suppressed
  • ISSN号:0960-1317
  • 期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间:2013.4
  • 页码:-
  • 相关项目:微纳流控系统跨尺度兼容一体化集成制造基础研究
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