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Monolithic Integration of Pressure Plus Acceleration Composite TPMS Sensors With a Single-Sided Micr
  • ISSN号:1057-7157
  • 期刊名称:Journal of Microelectromechanical Systems
  • 时间:2012.4
  • 页码:284-293
  • 相关项目:微纳流控系统跨尺度兼容一体化集成制造基础研究
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