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On-Chip Integration of Acceleration, Pressure, and Temperature Composite Sensor With a Single-Sided
  • ISSN号:1057-7157
  • 期刊名称:Journal of Microelectromechanical Systems
  • 时间:2011.2
  • 页码:42-52
  • 相关项目:微纳流控系统跨尺度兼容一体化集成制造基础研究
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