位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Interfacial structures and ele
  • 时间：0
  • 相关项目：高介电常数HfSixOyNz薄膜材料制备及氮元素作用机制研究
作者： Xinhong Cheng, Li Wan, Zhaorui
同期刊论文项目
高介电常数HfSixOyNz薄膜材料制备及氮元素作用机制研究
期刊论文 10
同项目期刊论文
Al_2O_3对应变SiGe上HfO_2薄膜的热稳定性和电学可靠性的影响(英文)
Study of HfSiO film prepared b
Characteristics of HfxSiyO fil
Characteristics of sandwich- s
Influence of nitrogen element
具有Al2O3阻挡层的HfO2栅介质膜的界面和电学性能的表征
高性能HfAlO介质薄膜的制备
氮元素对高k铪基介电薄膜总剂量抗辐射性能的影响研究
具有Al2O3阻挡层的HfO2栅介质膜的界面和电学性能的表征（英文）