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A comparison of structures and properties of SiNx and SiOx films prepared by PECVD
  • ISSN号：0022-3093
  • 期刊名称：Journal of Non-Crystalline Solids
  • 时间：2012.1.1
  • 页码：99-106
  • 相关项目：太赫兹室温探测器的基础研究
作者： Xiangdong Xu|Liangchang Zhang|Long Huang|Qiong He|Taijun Fan|Zhuo Yang|Yadong Jiang|Zhanping Li|
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