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Effects of duty cycle and oxygen flow rate on the formation and properties of vanadium oxide films d
  • ISSN号：0042-207X
  • 期刊名称：Vacuum
  • 时间：2014.6.6
  • 页码：97-104
  • 相关项目：太赫兹室温探测器的基础研究
作者： Xiang Dong|Zhiming Wu|Xiangdong Xu|Tao Wang|Yadong Jiang|
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