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Micrograph and structure of CrN films prepared by plasma immersion ion implantation and deposition u
  • ISSN号:0257-8972
  • 期刊名称:Surface and Coatings Technology
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  • 相关项目:大体积等离子体电容耦合射频激励的极板自偏压溅射效应抑制及放电规律研究
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