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工件靶台复合加速离子注入系统中的靶台偏压效应
  • ISSN号：0254-6086
  • 期刊名称：核聚变与等离子体物理
  • 时间：0
  • 页码：260-264
  • 相关项目：大体积等离子体电容耦合射频激励的极板自偏压溅射效应抑制及放电规律研究
作者： 朱宗涛|巩春志|汪志健|田修波|杨士勤|Ricky Fu|
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大体积等离子体电容耦合射频激励的极板自偏压溅射效应抑制及放电规律研究
期刊论文 28
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期刊信息
  • 《核聚变与等离子体物理》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:核工业西南物理研究院
  • 主办单位:核工业西南物理研究院
  • 主编：刘永
  • 地址：四川省成都市二环路南三段三号
  • 邮编：610041
  • 邮箱：bjb@swip.ac.cn
  • 电话：028-82850364
  • 国际标准刊号：ISSN：0254-6086
  • 国内统一刊号：ISSN：51-1151/TL
  • 邮发代号:62-179
  • 获奖情况:
  • 四川省优秀期刊二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:1617