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Microstructure and mechanical properties of CrN films fabricated by high power pulsed magnetron disc
  • ISSN号：0169-4332
  • 期刊名称：Applied Surface Science
  • 时间：0
  • 页码：242-246
  • 相关项目：大体积等离子体电容耦合射频激励的极板自偏压溅射效应抑制及放电规律研究
作者： Wu, Zhongzhen|Tian, Xiubo|Wang, Zeming|Gong, Chunzhi|Yang, Shiqin|Tan, Cher Ming|Chu, Paul K.|
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期刊论文 28
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