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Defining a parameter of plasma-enhanced CVD to characterize the effect of silicon-surface passivatio
ISSN号:0021-4922
期刊名称:Japanese Journal of Applied Physics
时间:0
页码:-
相关项目:基于异质结晶体硅太阳电池的a-SiOx:H薄膜生长和钝化机理研究
作者:
Wenzhu Liu|Zhiqian Feng|Pierre J. Verlinden|Zhengxin Liu|
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