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Defining a parameter of plasma-enhanced CVD to characterize the effect of silicon-surface passivatio
  • ISSN号:0021-4922
  • 期刊名称:Japanese Journal of Applied Physics
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  • 相关项目:基于异质结晶体硅太阳电池的a-SiOx:H薄膜生长和钝化机理研究
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