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Characterization of microvoids in thin hydrogenated amorphous silicon layers by spectroscopic ellips
  • ISSN号:1359-6462
  • 期刊名称:Scripta Materialia
  • 时间:2015.6.3
  • 页码:50-53
  • 相关项目:基于异质结晶体硅太阳电池的a-SiOx:H薄膜生长和钝化机理研究
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