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氮生长掺杂和离子注入掺杂CVD金刚石薄膜的场电子发射
  • 期刊名称：半导体学报
  • 时间：0
  • 页码：1999,20(9),780
  • 语言：中文
  • 相关项目：n-型立方氮化硼薄膜/p-型金刚石薄膜异质结及薄膜器件研制
作者： 邵乐喜，谢二庆，陈光华等|
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n-型立方氮化硼薄膜/p-型金刚石薄膜异质结及薄膜器件研制
期刊论文 17
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