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氮掺杂CVD金刚石薄膜的场电子发射研究
  • 期刊名称:真空科学和技术
  • 时间:0
  • 页码:1999,19,72
  • 语言:中文
  • 相关项目:n-型立方氮化硼薄膜/p-型金刚石薄膜异质结及薄膜器件研制
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