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The growth of cubic boron nitride film by RF reactive sputter
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:0
  • 页码:2000,368(2),312-314
  • 语言:英文
  • 相关项目:n-型立方氮化硼薄膜/p-型金刚石薄膜异质结及薄膜器件研制
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