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The growth of cubic boron nitride film by RF reactive sputter
期刊名称:Thin Solid Films
时间:0
页码:2000,368(2),312-314
语言:英文
相关项目:n-型立方氮化硼薄膜/p-型金刚石薄膜异质结及薄膜器件研制
作者:
邓金祥,王波,陈光华等|
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期刊论文 17
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