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金刚石薄膜的ECRCVD及分形现象研究
  • 期刊名称:人工晶体学报
  • 时间:0
  • 页码:1999,28(1)69
  • 语言:中文
  • 相关项目:n-型立方氮化硼薄膜/p-型金刚石薄膜异质结及薄膜器件研制
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