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Piezoresistive Sensitivity, Linearity and Resistance Time Drift of Polysilicon Nanofilms with Differ
  • ISSN号：1424-8220
  • 期刊名称：Sensors
  • 时间：0
  • 页码：1141-1166
  • 语言：英文
  • 相关项目：多晶硅纳米膜压阻式压力传感器研究
作者： Chuai, Rongyan|Liu, Xiaowei|Shi, Changzhi|
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