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Electrical Trimming of Boron-doped Polysilicon Nanofilm Resistors Deposited at Different Temperature
  • ISSN号：1022-6680
  • 期刊名称：Advanced Materials Research
  • 时间：0
  • 页码：361-366
  • 语言：英文
  • 相关项目：多晶硅纳米膜压阻式压力传感器研究
作者： Chuai, Rongyan|Liu, Xiaowei|Shi, Changzhi|
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