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Influence of current-induced recrystallization on piezoresistive properties of polysilicon nanosized
  • ISSN号：1876-6196
  • 期刊名称：Procedia Chemistry
  • 时间：0
  • 页码：605-608
  • 语言：英文
  • 相关项目：多晶硅纳米膜压阻式压力传感器研究
作者： Chuai, Rong-yan|Shi, Chang-zhi|Liu, Xiao-wei|
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