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Polysilicon nanofilm pressure sensor
  • ISSN号：0924-4247
  • 期刊名称：Sensors and Actuators A-Physical
  • 时间：0
  • 页码：42-45
  • 语言：英文
  • 相关项目：多晶硅纳米膜压阻式压力传感器研究
作者： Lu, Xuebin|Shi, Changzhi|Suo, Chunguang|Liu, Xiaowei|Chuai, Rongyan|
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